輪廓式測(cè)量投影儀的系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，具備高度彈性之組合配置，可針對(duì)不同之量測(cè)需求配置來(lái)符合不同之量測(cè)應(yīng)用：搭載電動(dòng)鼻輪，zui多可同時(shí)掛載5種物鏡，使用時(shí)直接切換，省去手動(dòng)更換的麻煩。同時(shí)配備電動(dòng)調(diào)整移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)樣品作自動(dòng)調(diào)平及定位。垂直與水平軸向掃描范圍大，適合各種自動(dòng)量測(cè)之應(yīng)用，樣品皆不需前處理即可進(jìn)行非破壞、快速的表面形貌量測(cè)與分析，使用于業(yè)界研發(fā)生產(chǎn)、制程改善以及學(xué)術(shù)研究等單位。
輪廓式測(cè)量投影儀之高度分辨率可達(dá)0.1 nm，而搭配使用Z垂直軸量測(cè)掃描行程更可達(dá)到100mm，且水平軸向亦可達(dá)次微米解析，除此輪廓式測(cè)量投影儀可透過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行水平掃瞄，使其水平軸向量測(cè)范圍可達(dá)到150 × 150mm，并可依據(jù)客戶需求修改平臺(tái)尺寸。輪廓式測(cè)量投影儀搭配快速的校正程序以及演算原理，系統(tǒng)校正結(jié)果可以追朔至NIST標(biāo)準(zhǔn)，并結(jié)合數(shù)種創(chuàng)新且強(qiáng)固可靠的算法，因此本系列產(chǎn)品可同時(shí)擁有高度以及大范圍量測(cè)的特質(zhì)。
傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對(duì)精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級(jí)。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對(duì)機(jī)械零件的加工精度要求開(kāi)始向納米量級(jí)邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動(dòng)檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測(cè)手段包括接觸式和2D方式的檢測(cè)方法對(duì)檢測(cè)納米量級(jí)精度的機(jī)械零件有很大的局限性。
